薄膜開關薄膜表面粗糙度檢測
1測試原理
薄膜表面存在微小的凹凸不平的表面，利用儀器的觸針(或探頭)在薄膜表面移動，從而測出薄膜的表面粗糙度Ra.
2試驗儀器和用品
a)能滿足薄膜試樣的平均粗糙度側試范圍及精度要求的表面粗糙度測試儀器均可使用，儀器誤差不大于士10%.
b)丙酮少許及端部包有脫脂棉花的棉簽.
3試樣制備
從樣品上縱、橫向各取三塊試樣，其尺寸以能完全覆蓋與儀器配套的測試小平面為準.試樣表面必須潔凈，無損傷、褶皺。
4試驗步驟
用棉簽蘸上丙酮清洗儀器的測試平面.將試樣放在儀器的測試平面上，試樣要完全貼緊平面，無氣泡存在。試樣的被測試面朝向測試指針，讀出3塊試樣縱、橫向各六個Ra的數值.
5結果的計算與表示
薄膜的表面粗糙度以三個試樣的六個Ra的算術平均值表示，單位為5m.
